著者: Sascha Lohse
要約: 焦点面アレー(Focal Plane Array ;FPA)は2次元のピクセルマトリクス構造を持ったセンサーです。焦点面の位置情報を持った光素子として赤外線センサー、X線センサーなどがあります。
一般的にはFPAは温度検出カメラ、天体観測機器、検査システム、医療用画像デバイス、ボロメータ、軍用ガイドシステム、測定機器など、広範囲な電磁波のスぺクトラムを可視化する目的で使われています。
他のタイプのセンサーと比較して、FPAは多数個の小さいサイズの独立した検出領域が増加しており、それ自体の大型化が進んでいます。 正確な動作を目指す為にはリードアウトユニット(1個または複数のリードアウトチップ(ROC) 又はASIC) に対してピクセルの接合を確実にする必要性があります。ピクセル/バンプが増加し、密度が高まり、ピッチが狭まり、バンプサイズも微小化しているので、ボンディング機器の選択と接合技術の最適化が求められています
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